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关对于晶棒的制作工序都有哪些

发布日期:2022-03-14 15:18:49 浏览次数:

  半导体晶棒在制作过程当中的成长工序十分的重要,基于这一点,今天我们就来为你讲解下关对于晶棒的制作工序都有哪些?下面就让杭州半导体晶棒的小编为你讲解下!

杭州半导体晶棒

  1、融化

  将块状高纯度多晶硅置于应时坩埚中,加热至1420℃以上的熔点,并完全熔化。

  2、颈部生长

  待硅熔体浆料温度稳定后,将< 1.0.0 >方向的籽晶缓慢插入,然后缓慢向上提拉籽晶,使其直径减小到一定尺寸(一般约6mm),保持该直径,并延长100-200mm,以消除籽晶中晶粒排列和取向的差异。

  3、晶体冠生长

  颈部生长后,缓慢降低提升速度和温度,并逐渐将颈部直径增加至所需尺寸(如5、6、8、12英寸等)。

  4、晶体生长

  不断调整提升速度和熔化温度,保持晶棒直径不变,直到晶棒长度达到预定值。

  5、尾部生长

  当晶棒长度达到预定值时,提升速度逐渐加快,熔化温度逐渐升高,使晶棒直径逐渐减小,从而避免了热应力引起的偏移、滑移等现象的发生,使晶棒与液面完全分离。此时,获得了完整的晶体棒。